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      SHANGHAI HANBELL PRECISE MACHINERY CO., LTD
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        Location:Products center > Products Center > Dry Vacuum Pump > PS dry vacuum pump
      pumping speed:80~180m3/h
      UIT imate pressure:≤1Pa
         
       
      PS dry vacuum pump
      pumping speed:80~180m3/h
      UIT imate pressure:≤1Pa

      干式真空泵

      應用領域:半導體,光電,LED,TFT,制藥,化工,太陽能,真空鍍膜,熱處理等。

      PS系列技術參數表

      機型
      單位
      PS80
      PS160
      PS180
      PS602
      PS902
      PS1302
      PS1802
      抽氣速率
      50Hz/60Hz
       
      L/min
      1300/1600
      2150/2600
      2500/3000
      8300/10000
      12500/15000
      18000/21600
      25000/30000
      m3/h
      80/96
      130/156
      150/180
      500/600
      750/900
      1080/1300
      1500/1800
      cmf
      48/57
      77/92
      88/105
      294/353
      441/530
      580/770
      875/1050
      極限真空
      Torr
      7.5*10-3
      7.5*10-4
      mbar
      1*10-2
      1*10-3
       
      Pa
      1
      0.1
      馬達
      頻率
      Hz
      50/60
      電壓
      V
      220~440
      功率
      Hp
      4
      6
      4+4
      6+4
      6+6
      kw
      2.98
      4.47
      2.98+2.98
      4.47+2.98
      4.47+4.47
      連接
      進氣
       
      NW50
      ISO100
      ISO160
      排氣
       
      NW40
      NW40
      NW40
       
      流量
      L/min
      3~7
      冷卻水
      壓力
      kg/cm2
      2.0~4
       
      溫度
      ºC
      18~30
       
      接頭
       
      RC3/8´´
       
      壓力
      kg/cm2
      0.5~1
      氮氣
      稀釋流量
      L/min
      0~60
       
      密封流量
      L/min
      0~20
       
      連接
       
      Swagelok1/4´´
      尺寸L*W*H
      mm3
      814*380*663
      895*405*678
      920*425*650
      814*380*887
      895*405*943
      920*425*957
      920*425*1047
      重量
      kg
      280
      300
      320
      450
      520
      540
      545
      噪音
      dB(A)
      68
      70
      控制界面
       
      SEMI E73-0299
      真空泵最大漏率
      mbar.l/s
      1*10-5
      室溫操作范圍
      ºC
      5 ºC ~40 ºC
      最大操作濕度
      RH
      90%

       
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